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管式低压氧化退火设备
    发布时间: 2021-11-06 20:11    
管式低压氧化退火设备

特色


  • 配置PID控温系统,2500mm长恒温区 

  • 温度范围500-1000℃,温度精度≤±0.5℃ 

  • φ420大口径,适应166-230大尺寸硅片 

  • 三种气体配置,适应TOPCon电池退火需求 

  • 水冷缓存架结构,良好的降温性能,减少环境制冷能耗 

  • 双石英炉门密封结构,避免金属离子污染


产品中心