特色
n 空间型旋转式和平板式原子层沉积工艺设备，有效应对钙钛矿电池研发、中试和量产 n 原子层沉积氧化锡工艺成熟，对钙钛矿层无损伤 n 镀膜速率高，氧化锡膜层均匀性好 n 兼容各种尺寸玻璃和硅片