特色：

• 双炉门设计，悬臂桨结构，降低工艺时间，延长石英管寿命 

• 垂直插片，解决均匀性分层问题 

• 多段可控进气功能，实现整舟工艺一致性 

• 增加炉尾匀流板设计，提升炉尾方阻均匀性 

• 温度范围500-1250℃，温度精度≤±0.5℃ 

• BCl3气态源，减少石英件黏连，运营成本大幅降低 

• 配备湿氧系统，显著降低工艺时间 

• 适应166-230大尺寸硅片