特色：

• 可镀膜Al2O3，SINx，SIOxNy，SIOx的一种或多种,适应166-230大尺寸硅片 

• 炉口环形进气方式与分布，大尺寸下镀膜均匀性＜4% 

• 闭管软着陆，悬浮承载舟结构 

• 三水冷法兰结构，密封圈寿命长 

• 缓存位采用冷却水循环散热+风扇冷却方式，减少环境制冷能耗

• LIFT上下舟采用取放平衡对称方式，增强机械手稳定性