特色：

n 单台设备实现电池片正反面镀膜（可镀膜：Al2O3，SINx，SIOxNy，SIOx的一种或多种）,适应166-230大尺寸硅片 

n 双面镀膜后应力抵消，减少单面镀膜应力不均造成的碎片和划伤，适合硅片大面积、薄片化趋势 

n 双面镀膜相对传统方式节省了取片插片步骤 

n PERC电池：三步镀膜集成在一管内完成，在设备投资成本和整线良率（碎片率）上优势明显 

n TOPCon电池：正面钝化ALD Al2O3+双面镀膜SiNx，保证效率优势、兼顾良率