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特色
· 创新式双排短舟，大幅提升单管装片量
· 全新炉膛设计，保证1050度的量产温度
· 垂直插片保证硅片实际温度控制
· 多段进气，气流分布比传统设计更均匀
· 主动降温功能，不更改工艺参数下，缩短每炉时间，提升产能
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