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钙钛矿ALD量产设备
特色
· 采用空间型ALD沉淀原理,工艺时间短,基板尺寸灵活
· 通过空间间隔和惰性气体间隔实现前驱体空间上的隔离,防止前驱体出现交叉污染
· 空间型SALD具有适合大面积、同等膜厚条件下反应时间更短、规模化量产的优势,而且包裹性好,对钙钛矿层无损伤
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