特色:
用于将棱镜从晶圆环上自动卸下,进行视觉系统检查是否有缺陷,然后分类放置到载具或NG托盘内
用户友好的机器界面,简单易学
模块化设计,重复性和精度高
维护要求低,停机时间少,具有成本效益的解决方案适合规模化、批量生产
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