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WLO堆叠和校准系统
    发布时间: 2021-11-06 20:21    

特色


  • 用于在玻璃晶圆上执行晶圆级光学元件(WLO) 的精密堆叠和校准过程。 

  • 采用视觉定位系统、贴合工具和紫外光固化工艺,实现精密粘接。 

  • 对准精度<±25μm


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