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板式ALD镀膜设备
    发布时间: 2021-11-06 18:57    
板式ALD镀膜设备

特色:

 

  • 平板In-Line ALD设备, 兼容P型与N型电池技术路线和各种电池片尺寸 

  • 单面水平镀膜工艺,更适合182/210mm等大硅片生产 

  • 良好的AlOx钝化效果,大尺寸N型电池转化效率高 

  • 工艺窗口宽、绕镀少、碎片率低、综合良率高,适合规模化量产 

  • 大尺寸硅片均匀性可与166mm硅片一致


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